軟X光和極端遠紫外譜段 248/310G型掠入射單色儀
.jpg "248-310(1).jpg")
可工作于掃描或陣列模式(可互換)
光柵選擇范圍廣
入射角度可變
精確的羅蘭圓,精度達±4 um
高精度連續(xù)可調(diào)狹縫
狹縫帶隔離伐
滑入式濾光片選件
結(jié)構(gòu)堅固, 設(shè)計簡潔,可在任意方向安裝使用
描述
在波長1到100-nm范圍使用的更多的儀器是型號為248/310G 的一米焦距掠入射光譜儀. 這一儀器設(shè)計合理, 操作簡 單，工作于軟X射線譜段. 與之功能相近的是焦距為2.2米、型號為247的同類產(chǎn)品，同時我們亦可提供其他各種焦距的 同類產(chǎn)品. 單色儀通過出口狹縫在羅蘭圓上的移動來選擇掃描波長. 羅蘭圓的外徑等于光柵的曲率半徑.
該設(shè)備配備單個光柵提供覆蓋1至 310nm光譜范圍；采用133.6g/mm的光柵對光譜儀的一致性進行校準的工作可以在大氣環(huán)境下來完成。符合運動學(xué)原理安裝的光柵保證了在光柵更換后的仍可以精確復(fù)位。
光柵室材質(zhì)為不銹鋼，配備了一個標(biāo)準的4.5英寸金屬密封的泵接口。該光柵室提供了符合運動學(xué)光柵固定 架、可在真空中根據(jù)不同光柵的曲率進行微米級調(diào)節(jié)的裝置、濾光片及孔徑光蘭、入射狹縫、出射狹縫及可選的滑動濾光片固定架。
248/310G型可以用于單通道掃描或連接多通道探測器(如多道像增強器或CCD), 亦可作為Extreme UV或者Soft X-ray的單色光源.不管哪種方式,均為帶o-ring密封的真空系統(tǒng)或全金屬密封的高真空系統(tǒng).
當(dāng)248/310G用作掃描單色器時,可以得到特佳分辨率和特寬的波長覆蓋范圍. 出口狹縫通過密封焊接的波紋管 裝置連接到光柵室,可以在光柵中心50mm范圍內(nèi)掃描. 采用88度入射角,掃描精度可以達到0.98nm.
使用 789A-3型掃描系統(tǒng) (36,000 steps /rev.) 步進距離為0.0004"，與波長有密切關(guān)系的參數(shù)還有光柵刻線密度和入射角度. 雙邊可調(diào)的入射狹縫 (5-500um)固定在光柵室上. 羅蘭圓上移動的狹縫可由精確的千分尺調(diào)節(jié). 狹縫裝置上帶有安裝真空閥,進氣閥,粗抽閥的接口.為提高在工作波長小于30nm時的性能,使用金屬過濾波片以濾出散射和低能光，用于盡可能高能量/盡可能短波長時,應(yīng)使用VYNS型濾光片。
技術(shù)參數(shù)
焦距 1m, 掠入射單色儀
f /NO 44
光柵尺寸 25 x20mm
入射和出射光束夾角 176°to 157°
波長重復(fù)性 +/- 0.005 nm (使用1200 G/mm光柵)
真空度 10e-6 Torr, O型密封圈
10e-9Torr,全金屬密封（選項）
焦平面 40mm或25mm掃描范圍
波長范圍 根據(jù)所選的光柵而定
